【国产光刻机突破22纳米 中国3纳米光刻机突破】当然了，对于光刻机我们国家也一直在研究制造，但因为多方面因素 ， 我国性能最好的是光刻机都有90nm 。制程上的差距大，所以国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口 。
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